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三维原子探针
三维原子探针 技术又称断层分析术(APT),能够在原子级别上分析材料的三维立体结构和成分,给出材料的三维原子排布和元素组成,是当今世界最为先进的原子级分析技术。APT的应用范围覆盖了金属材料、半导体和陶瓷材料等领域, 与TEM、SIMS并称为材料分析三大工具。
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